Pengukur ketebalan & kepadatan area terintegrasi CDM

Aplikasi

Proses lapisan: deteksi on-line fitur cilik elektroda; fitur cilik umum saka elektroda: keluwen liburan (ora bocor Penagih saiki, prabédan abu-abu cilik karo area nutupi normal, Gagal identifikasi CCD), ngeruk, bleger kekandelan saka thinning area, AT9 deteksi kekandelan etc.

Kirimi email kanggo kita

Detail Produk

Tag produk

Prinsip pangukuran

Prinsip pangukuran Kapadhetan permukaan

Metode penyerapan sinar-X/β

Prinsip pengukuran ketebalan

Korelasi & triangulasi laser

karakteristik tes teknis CDM

Skenario 1: Ana 2 mm sudhut liburan / kekurangan ing lumahing elektroda lan siji pinggiran luwih kenthel (garis biru minangka kapacak ing ngisor iki). Nalika titik sinar 40 mm, impact saka wangun data asli diukur (garis oranye minangka kapacak ing ngisor iki) katon luwih cilik.

Skenario 2: data profil area thinning dinamis 0.1mm jembaré data

Fitur piranti lunak

Parameter teknis

jeneng	Indeks
Kacepetan mindhai	0-18m / min
Frekuensi sampling	Kapadhetan lumahing: 200 kHz; kekandelan: 50 kHz
Range pangukuran Kapadhetan lumahing	Kapadhetan lumahing: 10 ~ 1000 g / m²; kekandelan: 0 ~ 3000 μm;
Pengulangan pangukuran akurasi	Kapadhetan lumahing: 16s integral: ±2σ: ≤±nilai bener * 0,2‰ utawa ±0,06g/m²; ± 3σ: ≤ ± nilai bener * 0,25 ‰ utawa +0,08g/m²; 4s integral: ±2σ: ≤±nilai bener * 0,4‰ utawa ±0,12g/m²; ±3σ: ≤±nilai bener * 0,6‰ utawa ±0,18g/m²;Ketebalan: Zona 10 mm: ± 3σ: ≤ ± 0,3μm; zona 1 mm: ±3σ: ≤±0,5μm; Zona 0,1 mm: ±3σ: ≤±0,8μm;
Korelasi R2	Kapadhetan lumahing> 99%; kekandelan> 98%;
Titik laser	25*1400μm
Kelas perlindungan radiasi	GB 18871-2002 standar keamanan nasional (pangecualian radiasi)
urip layanan saka radioaktif sumber	β-ray: 10,7 taun (Kr85 setengah umur); X-ray: > 5 taun
Wektu nanggepi pangukuran	Kapadhetan lumahing <1ms; kekandelan <0,1 ms;
daya sakabèhé	<3 kW